無塵車間靜電的危害及靜電控制

無塵車間靜電的危害及靜電控制

一、無塵車間與靜電

1、無塵車間

半導體、平面液晶顯示器、光電子和生物醫藥都需要潔凈的生產車間，通常無塵車間是指空間空氣懸浮粒子濃渡被控制在規定界限內的房間或限定空間，這塵埃粒子的粒徑越小和被限定的粒數越小，潔凈度便越高。

2、無塵車間的靜電

由于無塵車間的潔凈度要求（常規）

①大量的高絕緣介質裝飾材料、地面、墻、門、頂棚、隔斷、工作臺、椅子等等，這些 材料摩擦容易起電帶電，不易泄漏釋放。

地面500V~1000V，擴散間塑料地面500V~1500V，瓷磚地面也有500V~1500V，塑料墻紙700V，塑料頂棚OV~1000V，金屬活動皮芏椅面500V~3000V。

②人穿潔凈工作服、鞋、步行或工作時，與不同物質設備器材摩擦要產生靜電，人、衣服、鞋都會帶電。

人穿尼龍衣、塑料膠底鞋緩慢地在清潔的地板上走動，人身上帶7000V~8000V靜電壓。在乙烯基地板上行走可帶1200V(10%~20%RH)、250V(65%~90%RH)靜電壓，在地毯上行走可帶35000V(10%~20%RH)、1500V(65%~90%RH)，晶片裝配線工人穿的工作服可達10KV。

③空調氣流經過初效過濾器、中效過濾器、高效過濾器，無塵出口氣流是帶靜電的。鋁板送風口、回風口約為500~1000V。

④大量的絕緣器材、裝備和工具，也是重要的靜電電荷源。晶片裝配生產線：晶片裝料盒35KV，有機玻璃蓋8KV，石英制品1.5KV，晶片托盤6KV，丙烯酸脂蓋20KV，臺桌面10KV，塑料存貯柜30KV，玻璃纖維晶體載料盒滑過聚丙烯桌面帶10KV。

總之：無塵車間的潔凈度要求越高，靜電帶電便越嚴重。